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被加工材
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エッチング液組成と条件
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鉄、鉄-ニッケル
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1.38-42Be塩化第2鉄液
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陽極酸化したアルミニウム
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1.20％カ性ソーダ(60-90 )
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2.38％濃塩酸1容+水4容(22-65)
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3.40Be塩化第2鉄4+38％濃塩酸340g(43以下)
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クロム
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1.42Be塩化第2鉄液2容+濃塩酸1容(80)
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2.濃塩酸3容+水7容(80)
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銅・銅合金
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1.塩化第2鉄液
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2.過硫酸アンモン+塩化第2水銀
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金
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1.王水(金皮膜が薄い場合)
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2.シアン化ソーダ+過酸化水素
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マグネシウム
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1.5-10％硝酸
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モリブデン
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1.濃硝酸1容+濃硫酸1容+水3容
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ニクロム
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1.塩化第2鉄液
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2.濃硝酸1容+濃硫酸1容+水3容
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ステンレススチール
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1.38-42Be塩化第2鉄液
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2.塩化第2鉄液+硝酸
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3.塩酸100部+硝酸第1水銀6.5部+水100部
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4.37％塩酸1容+70％硝酸1容+水3容
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タンタル
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1.30-40％カ性ソーダ(70-80)
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2.フッ酸
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被加工材
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エッチング液組成と条件
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銀
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1.55％硝酸第2鉄液
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2.無水クロム酸40g+濃硫酸200ml+水
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鋼
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1.38-42Be塩化第2鉄液
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2.塩化第2鉄液+硝酸
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3.濃硝酸300ml+水700ml
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4.濃硝酸300ml+硝酸銀35g+水700ml
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チタン
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1.40％フッ酸1容+水9容(30-32)
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2.過硫酸塩+フッ化物
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亜鉛
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1.硝酸溶液
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ガラス.セラミック
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1.フッ酸
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酸化銀
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1.粉末亜鉛と10塩酸溶液(20-32)
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酸化イリジウム
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1.38-42Be塩化第2鉄液
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シリコン・ゲルマニウム
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1.フッ酸と硝酸あるいは過酸化水素を含む溶液(SiとGeに対し)
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2.次塩素酸塩溶液に炭酸ガスを吹き込みつつエッチング
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ポリエステル
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1.濃硫酸
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ポリイミド
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1.50％カ性ソーダ(105-110)
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ニオブ
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1.5-15％フッ化水素酸+2-6％フッ化
アンモン+10-20％塩酸+3-9％硝酸(50以上)
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