種々のPVDの比較(U)
真空蒸着
イオンプレーティング
スパッタリング
皮膜の性質
金属と一部の化合物
金属、合金、一部化合物
金属、合金、化合物、サーメットセラミックポリマー
原理
高真空中で、主として金属を蒸発させ、基板上に凝結させて皮膜をつくる
アルゴンガス雰囲気中で基板に-0.5〜-5KV程度の高電圧をかけ、放電させながら蒸着させる。
不活性ガス名がで基板を(+)ID、1-7kvの電圧をかけて放電し、ガスイオンを陰極に衝突させ陰極物質がとび出させ、基板上に付着させる。
皮膜の性質
均一につかない
緻密、ピンホール、フクレなし
緻密、かなりピンホール少ない
皮膜と基板との境界面
熱拡散がなければ鮮明
相互拡散、緩慢な変化層
比較的鮮明である。
皮膜の均一性
場所により変わる
均一性がよい
かなり均一
皮膜の純度
蒸発源の純度による
蒸発源の純度による
蒸発源の純度による
皮膜形成速度
非常に速い
非常に速い
比較的遅い
膜厚のコントロール
困難
容易
容易
複雑な形状の表面
蒸発源に向かった表面のみ 皮膜形成
全面に、完全に皮膜が形成させる
全面に、完全に皮膜が形成させる
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