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各種材料に対する化学エッチング液(湿式)の組成と条件

被加工材 エッチング液組成と条件
鉄、鉄-ニッケル 1.38-42Be塩化第2鉄液
陽極酸化したアルミニウム 1.20%カ性ソーダ(60-90度)
2.38%濃塩酸1容+水4容(22-65度)
3.40Be塩化第2鉄4+38%濃塩酸340g(43度以下)
クロム 1.42Be塩化第2鉄液2容+濃塩酸1容(80度)
2.濃塩酸3容+水7容(80度)
銅・銅合金 1.塩化第2鉄液
2.過硫酸アンモン+塩化第2水銀
1.王水(金皮膜が薄い場合)
2.シアン化ソーダ+過酸化水素
マグネシウム 1.5-10%硝酸
モリブデン 1.濃硝酸1容+濃硫酸1容+水3容
ニクロム 1.塩化第2鉄液
2.濃硝酸1容+濃硫酸1容+水3容
ステンレススチール 1.38-42Be塩化第2鉄液
2.塩化第2鉄液+硝酸
3.塩酸100部+硝酸第1水銀6.5部+水100部
4.37%塩酸1容+70%硝酸1容+水3容
タンタル 1.30-40%カ性ソーダ(70-80度)
2.フッ酸
被加工材 エッチング液組成と条件
1.55%硝酸第2鉄液
2.無水クロム酸40g+濃硫酸200ml+水
1.38-42Be塩化第2鉄液
2.塩化第2鉄液+硝酸
3.濃硝酸300ml+水700ml
4.濃硝酸300ml+硝酸銀35g+水700ml
チタン 1.40%フッ酸1容+水9容(30-32度)
2.過硫酸塩+フッ化物
亜鉛 1.硝酸溶液
ガラス.セラミック 1.フッ酸
酸化銀 1.粉末亜鉛と10塩酸溶液(20-32度)
酸化イリジウム 1.38-42Be塩化第2鉄液
シリコン・ゲルマニウム 1.フッ酸と硝酸あるいは過酸化水素を含む溶液(SiとGeに対し)
2.次塩素酸塩溶液に炭酸ガスを吹き込みつつエッチング
ポリエステル 1.濃硫酸
ポリイミド 1.50%カ性ソーダ(105-110度)
ニオブ 1.5-15%フッ化水素酸+2-6%フッ化
アンモン+10-20%塩酸+3-9%硝酸(50度以上)

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